传感器的微型化展开

各种控制仪器设备的功能越来越大。一些精密仪器或设备体积小，需要与各种传感器连接进行传感和控制，这也对传感器的小型化提出了更高的要求。因此，传感器本身的尺寸越小越好，这就需要开发新的材料和加工工艺，而通常由硅材料制成的传感器的尺寸已经很小了。例如，传统的加速度计是由重力块和弹簧制成的，体积大、稳定性差、寿命短，而采用激光等各种微加工技术制成的硅加速度计非常小，可以互换。性可靠性良好。微型传感器可以放置在较小的位置，不受空间大小的限制，具有对被测物体状态干扰小、计时快、成本低等优点。过去，传感器是在可见的情况下手工制造的，甚至机械加工也受到机械能力的限制。否则，基于集成技术的微细加工技术可以将电路加工到光波量级，并且可以低价批量生产。集成电路加工技术由三种复制技术组成：平面电子技术；选择性化学蚀刻技术和机械切割技术。这三种技术都可以执行 3D 加工。平面电子技术以硅表面形成的氧化膜为掩模，利用掩模对硅单晶进行空间选择性分散和刻蚀处理。因此，平面电子技术包括光刻技术、杂质分散技术、离子注入技术和化学气相沉积技术。使用选择性化学蚀刻技术可以对已经通过平面电子技术分散的氧化物掩模和半导体物体进行选择性化学蚀刻处理。使用这种技术，可以在特定方向上蚀刻掉硅体，从而实现三维加工。这种微加工技术可以将物体加工成极其精细的运动部件，例如应力杆、开关甚至电机。
美国斯坦福大学在直径5cm的硅片上集成了以往难以移动的气相色谱仪，制成超小型气相色谱仪。通常的传感器概念已经跳出了其本义的小圈子。相反，小型化、集成化和以智能为特征的微系统。除了具有自检、自校准和数字补偿功能的微处理器外，该微系统还具有一个微执行器。现代微制造技术已将微传感器、微处理器和微致动器集成在单个硅晶片上以形成微系统。宁波圣邦科技的发展，将微型传感器提升到了一个新的水平。采用微电子加工技术，将微米级敏感元件、信号处理器和数据处理设备封装在同一个芯片上。它体积小，价格低。 ，高水平的可靠性特性，并能显着提高系统检测精度。宁波盛邦科技是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密加工技术的发展而发展起来的。依托宁波胜邦科技的发展，传感器技术将向小型化、智能化、多功能化方向发展，同时也适合自动化和工业控制对传感器功能的需求。通常，宁波胜邦技术可用于制造检测机械、磁、热、化学和生物质的微型传感器。由于宁波圣邦微传感器在降低汽车电子系统成本和提高性能方面的优势，已经开始逐步取代基于传统机电技术的传感器。宁波胜邦传感器将成为国际汽车电子的主要部件。